ADS602
阿爾卡特ADS602是一種多級羅茨真空泵,以下是其詳細介紹:
工作原理
主要特點
干式運行:無需油潤滑,避免油污染,適合潔凈工藝1
3
。
高抽速:羅茨泵結(jié)構(gòu)提供大流量抽氣能力,適合快速抽除大量氣體1
。
耐腐蝕設(shè)計:可選特殊涂層或材質(zhì),應(yīng)對腐蝕性氣體1
。
低振動與噪音:精密動平衡轉(zhuǎn)子設(shè)計,適合對振動敏感的環(huán)境1
。
集成控制系統(tǒng):通常配備智能控制器,監(jiān)測轉(zhuǎn)速、溫度、壓力,并可聯(lián)鎖保護。